美國AII GPR-1600UHP ppb超微量氧分析儀在半導體電子工業高純氣體中的應用

美國AII GPR-1600UHP ppb超微量氧分析儀(yi) 在半導體(ti) 電子工業(ye) 高純氣體(ti) 中的應用

關(guan) 鍵詞：美國AII，GPR-1600UHP, ppb,

微量氧分析儀(yi) ，電子，半導體(ti) ，氧含量

在半導體(ti) 等電子工業(ye) 中，如成電路芯片廠中所使用的氣體(ti) 按用量的大小可分為(wei) 二種，用量較大的稱為(wei) 大宗氣體(ti) （Bulk gas），用量較小的稱為(wei) 特種氣體(ti) （Specialty gas）。大宗氣體(ti) 有：氮氣、氧氣、氫氣、氬氣和氦氣。其中氮氣在整個(ge) 工廠中用量大，依據不同的需求，又分為(wei) 普通氮氣和工藝氮氣為(wei) 每一步生產(chan) 工藝提供所需求的載氣以及電子特種氣體(ti) 的保障，美國AII氧分析儀(yi) </a>公司的微量氧分析儀(yi) 常常被用於(yu) 半導體(ti) 氣體(ti) 中的微量氧含量檢測。

一般來說在電子級氣體(ti) 中的微量水和微量氧含量等雜質的要求一般要小於(yu) 5000-10000ppb,正因為(wei) 對於(yu) 氣體(ti) 如此高的純度要求，為(wei) 了保障氣體(ti) 的純度，美國AII氧分析儀(yi) 的GPR-1600UHP痕量氧分析儀(yi) （超微量氧分析儀(yi) ）得到了廣泛的使用和。

超微量氧分析儀(yi) 技術參數：

GPR-1600UHP PPB級氧分析儀(yi) 是一款在線進行分析,應用：對惰性氣體(ti) ，He，H2，混合氣體(ti) 及CO2中的氧含量進行100ppb1%微量分析

PPb氧分析儀(yi) 技術參數

精度：恒定條件下&lt;1%滿量程

範圍：0-100ppb，0-1、10、100ppmFS；自動切換或手動

可調應用：對高純惰性氣體(ti) ，碳氫氣體(ti) ，He，H2中的氧含量進行0.5ppb-100ppm分析

認證：CE

區域等級：普通用途報警：2路繼電器報警輸出

標定：使用濃度大約為(wei) 80%量程或更高的經過認證的標準

氣體(ti) 補償(chang) ：壓力及溫度補償(chang) ，可選溫控係統

接口：進樣及標定口為(wei) 1/4VCR接頭，出品為(wei) 1/4 壓緊管接口

控製：量程選擇開關(guan) ，鍵，標定,報警及係統功能

數據采集：可選數據點顯示：5＂2.75＂；

分辨率：0.5ppb；實時顯示溫度及壓力安裝

尺寸：鋁材13.9＂9.9＂13.4＂

流量影響：0.5-1.5 L/M,流量:1 L/M 線性：.995*量程

壓力：進樣20-50 psig；大150 psig；排空-不超過5水柱的大氣壓

電源：220VAC

適用範圍：

石油化工、電子電力等行業(ye) 中高純氧的分析；

空分高純氧監測；

冶煉行業(ye) ；

行業(ye) ；

微電子、半導體(ti) 、航天及軍(jun) 工等領域；

製氫／製氮／C02設備，淨化／幹燥設備等；

產(chan) 品特點：

1）穩定的O2分析

Adv公司的GPR-1600UHP級氧氣變送器/分析儀(yi) 標誌著氧氣分析達到了新的水平。創新設計的傳(chuan) 感器結構及外殼、模塊化設計的電子器件部分以及的燃料電池（電化學）傳(chuan) 感器技術，給予使用者低的花費，高的收益。

2）兩(liang) 線製電源4~20mA回路模擬輸出

GPR-1600UHP提供了一個(ge) 通過兩(liang) 線製9~36V供電回路的4~20mA信號輸出及兩(liang) 個(ge) 可調節的變送器報警輸出連接。4~20mA輸出可使得外部設備重現滿量程的氧氣含量讀數。

3）通用長壽命傳(chuan) 感器，全量程線形化可進行空氣/量程氣校準

變送器/分析儀(yi) 的心髒部分是一個(ge) 的燃料電池式電化學傳(chuan) 感器，並以及線形化和設定。優(you) 異的傳(chuan) 感器使用性能和，應用的正常使用壽命為(wei) 24個(ge) 月。

4）LCD顯示

為(wei) 了使變送器/分析儀(yi) 的校準、現場氧含量讀取更為(wei) 方便，樣氣中氧O2的濃度讀取是由一個(ge) 三位半的LCD顯示器顯示的。