半導體環境露點儀是用於測量半導體生產環境中氣體露點溫度的儀器。露點是指氣體中的水蒸氣在冷卻過程中開始凝結的溫度，它反映了氣體中水分的含量。在半導體製造過程中，對氣體中水分的含量有高的要求，因為水分的存在可能會影響半導體材料的性能和成品的質量。因此，半導體環境露點儀在半導體生產中扮演著至關重要的角色。
1、高精度測量：
部分半導體環境露點儀采用先進的傳感器技術和測量方法，能夠實現高精度的露點測量。例如，英國肖氏SHAW的SUPER-DEW3在線露點儀，其測量精度高達±2℃/±3.6°F DP。
密析爾的Pura Advanced Online 2高純氣體露點變送器在-60°Cdp時精度為±1°C。
2、快速響應：
半導體製造過程中環境濕度的變化需要及時監測和調整，因此露點儀的響應速度至關重要。一些露點儀具備快速響應的特點，能夠在短時間內對濕度變化做出響應，提供實時的露點數據。
3、穩定性好：
在半導體生產過程中，露點儀需要在長時間內穩定運行，以確保測量結果的準確性和可靠性。優質的半導體環境露點儀通常具有良好的穩定性，能夠在不同環境條件下保持穩定的性能。
4、易於操作和維護：
用戶友好的界麵和簡潔的設計使得操作人員能夠輕鬆上手，快速掌握設備的使用方法。同時，一些露點儀的傳感器設計易於更換，降低了設備的維護成本。
